중국이 자체 기술로 개발한 침지식 심자외선(DUV·Deep Ultraviolet) 노광장비의 양산을 시작하며 반도체 핵심 장비 국산화에 속도를 내고 있다.
로이터통신은 정보기술 전문매체 더 인포메이션(The Information)을 인용해 중국이 자체 개발한 DUV 노광장비를 생산하기 시작했으며, 올해 안에 SMIC(중신궈지), 화홍반도체(Hua Hong Semiconductor), 창신메모리(CXMT) 등 주요 반도체 기업에 공급할 예정이라고 보도했다.
노광장비는 반도체 회로를 웨이퍼에 새기는 핵심 설비로, 그동안 네덜란드 ASML이 글로벌 시장을 사실상 독점해 왔다. 특히 중국은 미국과 네덜란드의 수출 규제로 최첨단 EUV(극자외선) 노광장비를 확보하지 못하면서 DUV 장비 국산화에 집중해 왔다.
보도에 따르면 이번 장비를 개발한 업체는 국가 지원을 받는 기업이지만 민감한 사안을 이유로 구체적인 회사명은 공개되지 않았다.
다만 업계에서는 이번 장비가 아직 성능과 신뢰성 면에서 ASML 제품에 미치지 못하며, 대량 생산에 앞서 추가적인 검증 과정이 필요하다고 평가하고 있다.
중국은 올해 약 5대, 오는 2027년에는 약 20대의 DUV 노광장비를 생산할 계획인 것으로 전해졌다.
한편 중국은 DUV 장비와 함께 자체 EUV 노광장비 개발도 진행하고 있으나, 현재는 시제품 단계에 머물러 있는 것으로 알려졌다.
시장에서는 이번 소식이 전해진 이후 ASML 주가가 7% 이상 하락했으며, 글로벌 반도체 장비 공급망 관련 기업들의 주가도 동반 약세를 보였다.
이번 개발은 미국이 중국에 대한 반도체 장비 수출 및 유지보수 규제를 추가로 검토하는 가운데, 중국이 핵심 반도체 장비의 공급망 자립을 본격화하는 신호로 해석되고 있다.